Título/s: Laboratorio de nanofabricación con FIB/SEM
Autor/es: Granell, P.; Tozzi, L.; Lozano, A.; Giménez, G.
Institución: Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI-Micro y Nanoelectrónica. Buenos Aires, AR
Editor: INTI
Palabras clave: Nanotecnología; Materiales nanoscópicos
Idioma: spa
Fecha: 2013
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